至純科技

上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司的主營業(yè)務為半導體制程設備、工藝支持設備的研發(fā)和生產(chǎn)銷售，以及由此衍生的高純工藝系統(tǒng)建設、電子材料、部件清洗及晶圓再生等服務。公司的主要產(chǎn)品為高純工藝集成系統(tǒng)、半導體設備、光傳感及光器件。公司于2019年3月完成對波匯科技的收購,波匯科技主要業(yè)務為光傳感應用及相關光學元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司多項技術已達到國際先進水平。